久久久久久999,国产精品免费观看久久,又黄又爽又色视频,日韩一区二区影院,欧美一区二区三区在线播放

SGS通標丨在線商城

您好，請登錄/注冊
| 服務中心
我的咨詢
我的訂單
| 購物車（ 0 ）
咨詢熱線4008-855-558
CONTACT US

碳中和 ESG 運輸包裝

第三方檢測機構

資訊中心

半導體輸送系統材料如何選擇？

原創

2024-04-02 17:00:00

技術文章

作者： SGS_SEMI

訪問次數： 2125

點贊： {{ Likes }}

在半導體制程中，超純水和多種濕化學品被廣泛應用。制程上為了能達到其預期的良率，對超純水及各種濕化學品的雜質有嚴格的質量控制。隨著制程技術的不斷進步，對超純水和濕化學品的純度要求也越來越高，因此對污染物水平控管也越來越嚴格。盡管有相應的標準和規范來確保超純水和化學品的質量，但這些標準大多屬于末端標準，對其各個組件的制造商來說，難以直接應用。為了確保在制程中使用的超純水和濕化學品能夠維持與供應端相當的質量水平，半導體液體輸送系統中選用的材料在半導體濕法工藝中顯得尤為重要。

半導體輸送系統材料如何選擇
為了能維持高度潔凈等級及抗酸抗高溫的效果，超高純度(UHP)聚合物材料和組件中, 含氟聚合物是被最廣泛運用的材料，這些材料廣泛應用于管路、配件、閥門、過濾殼體、傳感器、流量計和計量器等關鍵部件中。為了規范超純水和液態化學品輸送系統中使用的聚合物材料及組件，半導體行業制定了SEMI F57標準。該標準詳細規定了超純水分配系統中用于輸送超純水的超高純度（UHP）聚合物材料和組件的最低性能要求。這些要求主要針對聚合物材料和組件的性能和驗證，以確保在運輸和儲藏過程中，系統和部件不會引入任何污染。

輸送系統材料在SEMI F57主要以4類參數進行管控：陰離子污染、金屬離子污染、總有機碳 TOC、表面粗糙度。除了上述4類主要參數外，SEMI F57還對材料的其他性能提出了要求，如：機械性能、物理性能、耐化學性、可靠性、可追溯要求、包裝要求。

針對不同產品對應的測試項目可參考下表

對于超高純度（UHP）聚合物的制品廠商來說，要制作出符合標準的制品是一個多方面的挑戰。除了在整個制程工藝中嚴格避免污染，特別是在切割和研磨環節外，在原料的把關 (顆粒與粉末) 及機臺的清潔度，包裝材料的選用等方面給予格外的關注。

本文著作權歸SGS所有，商業轉載請聯系獲得正式授權，非商業請注明出處

需要更多信息？

我們最快2小時內聯系您

手機號碼電子郵箱

*自動注冊會員，在線查看咨詢進度

立即咨詢

我已閱讀并同意隱私政策

發送成功

您的咨詢信息已收到，我們將盡快與您聯系！

用戶賬號：{{ form.phone || form.email }}

已為您注冊SGS在線商城會員
可使用賬號快捷登陸

到“我的咨詢”查看咨詢進度

{{countdownTime}}秒后自動跳轉

掃碼關注SGS官方微信公眾號，回復“0”贏驚喜禮品！

關閉