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SEMI F21潔凈室空降分子污染（AMC）分析
確保您的潔凈室制程車間沒有污染
技術干貨 | 半導體高效生產運營的關鍵——廠務系統 (FMCS)
原創
2024-09-02 17:00:00
技術文章
作者： SGS_SEMI
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半導體制造，作為科技產業的核心，對環境要求極高。無論是生產功率器件、邏輯器件還是其他類型的集成電路器件，整個晶圓加工過程(襯底、外延、器件及封裝) ，每一步都需要在高度專業化的生產制造廠（FAB）中進行。這一復雜而精細的生產過程離不開半導體廠務系統（FMCS）的支持，其核心功能是確保半導體工廠的高效運營和產品質量。
FMCS：半導體生產的指揮中樞
廠務系統（FMCS)，如同工廠的“中樞系統”，負責監控和管理生產過程中的輔助設備和工作環境，通過實時數據采集和分析，確保設備正常運行、環境參數符合生產要求。廠務工程師和管理人員則扮演著“醫生”的角色，及時調整生產環境、排除設備隱患、處理異常報告、維護保養，保障工廠高效運轉。
水與氣的精細化管理
為了確保設備正常運行，就需要利用各種質量數據來協助管理，這些數據可能來源于廠務端的監測設備，或者通過實驗室采樣檢測獲得。在FAB中，水、氣、電等設備的質量管理對生產制造的良率有著顯著影響。
- FAB的水管理
從取水來源、純水制造、純水設備維護保養、純水品質指標控制到水的回收利用與廢水處理等，每個環節都需要精確控制，確保水質符合生產要求。 - FAB的氣管理
包含新風系統的運作、空調系統的維護保養、高效濾網與化學濾網的管理、廠內空氣質量指標控制、壓縮空氣系統維護保養、壓縮空氣質量的指標控制等，以確保生產環境潔凈、穩定。
SGS：您的廠務系統專家
SGS半導體超痕量實驗室擁有海內外豐富的FAB廠務系統合作經驗，提供全面的品控指標采樣與分析服務，助力您的廠務系統高效運行。
SGS為您提供以下服務：
- 潔凈室潔凈指標分析 (ISO 14644)：顆粒、風速、風量、壓差、溫度、濕度、氣流、靜電
- 潔凈室SEMI F21 AMC (空降分子污染)：空氣中酸堿離子、有機氣體 、金屬與硼磷濃度
- 潔凈室高效濾網與化學濾網的過濾效率
- 純水系統指標分析(GB/T 11446)：阻抗、顆粒、陰陽離子、微量金屬、TOC（總有積碳)、硅（二氧化硅、可溶解硅）、細菌含量等顆粒、風速、風量、壓差、溫度、濕度、氣流、靜電
- 純水管路使用材料品質 SEMI F57測試：陰陽離子、微量金屬、TOC (總有積碳)、表面粗燥度
- CDA (壓縮空氣) 質量分析 (ISO 8573)：油份、水分、顆粒、細菌
- CDA (壓縮空氣) 過濾器效果分析 (ISO 12500)
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